上海睿励完成1.08亿人民币战略投资

March 10, 2022 0 Comments

上海睿励是一家集成电路工艺检测设备供应商,从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制,为用户提供光学测量设备、光学关键尺寸分析系统、镓液态离子源、缺陷检测、等离子体灰化等产品,广泛用于科学仪器、微电子等领域,目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。近日完成1.08亿人民币战略投资,投资方为中微公司。投后估值12.12亿人民币,占比8.9095%。

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